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VPCF63EUVQ-L-VAR1
UHV Fused Silica Schauglas, optisch, VAR-beschichtet | 408950Verbindungstyp
CF
Nennweite
63
Fenstermaterial
Quarzglas (EUV Laser Grade)
Beschichteter Durchmesser
> 59 mm
Beschichtungswellenlänge(n)
193 nm
Reflektivität pro Oberfläche
R < 0,25%
Oberflächenqualität
20/10 (scratch/dig)
Ebenheit (bei 632,8 nm)
< lambda/4
Verbindungstyp
CF
Nennweite
63
Fenstermaterial
Quarzglas (EUV Laser Grade)
Beschichteter Durchmesser
> 59 mm
Beschichtungswellenlänge(n)
193 nm
Reflektivität pro Oberfläche
R < 0,25%
Oberflächenqualität
20 scratch/dig
Ebenheit (bei 632,8 nm)
< lambda/4
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| Kategorie | UHV Fused Silica Schauglas, optisch, VAR-beschichtet |
|---|---|
| Max. Ausheiztemperatur | 200 °C |
| Ausheiztemperatur | 392 °F |
| Fensterdicke | 0.236 ″ |
| Maximale Heizrate | 20 K/min |
| Durchmesser (beschichtet) | > 59 mm |
| Beschichtung | Laserlinien AR |
| Artikel-Nr. | 408950 |
| Verbindungstyp | CF |
| Nennweite | 63 |
| Leckrate | < 1E-10 mbar ∙ l/s |
| Min. Betriebstemperatur | -100 °C |
| Min. Betriebstemperatur | -148 °F |
| Max. Betriebstemperatur | 200 °C |
| Max. Betriebstemperatur | 392 °F |
| Außendurchmesser | 114 mm |
| Außendurchmesser | 4.488 ″ |
| Länge | 17,5 mm |
| Länge | 0.689 ″ |
| Sichtdurchmesser | 2.677 ″ |
| Fenstereinfassung | gelötet |
| Fensterdicke | 6 mm |
| Reflektionsvermögen pro Oberfläche | R < 0,25% |
| Oberflächenqualität | 20/10 (scratch/dig) |
| Wellenlängenbereich | 193 nm |
| Fenstermaterial | Quarzglas (EUV Laser Grade) |
| Transmissionsbereich | ca. 190 - 2000 nm |
| Sichtdurchmesser | 68 mm |
| Ebenheit (bei 632,8 nm) | < lambda/4 |
| Homogenität (Brechzahländerung über freie Apertur) | < 1 ppm |
| Inklusionen (Querschnitt pro 100 cm³ Glas) | < 0,03 mm² |
| Reinheitsklasse | PCS |
| Parallelität | < 10" |
| DN | Nennweite | 63 |
|---|---|---|
| AD | Außendurchmesser | 114 mm |
| D1 | Sichtdurchmesser | 68 mm |
| L1 | Höhe | 17,5 mm |
| L2 | Fensterdicke | 6 mm |
| DN | Nennweite | 63 |
|---|---|---|
| AD | Außendurchmesser | 4.488 ″ |
| D1 | Sichtdurchmesser | 2.677 ″ |
| L1 | Höhe | 0.689 ″ |
| L2 | Fensterdicke | 0.236 ″ |
| Downloads | |
| eingeschränkte Downloads |
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