Bitte anmelden um die Preise zu sehen.
Multifunktionsvakuummeter NOVION®
In der Wissenschaft im praktischen Einsatz
Das Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP) in Dresden war 2019 ein Feldtestpartner von VACOM, der als einer der Ersten das multifunktionale NOVION testete. Das FEP befasst sich u.a. mit der vakuumbasierten Beschichtung mittels Rolle-zu-Rolle-Technologie. Dabei werden flexible flächige Materialien wie Folien oder Textilien beschichtet und modifiziert. Um die ablaufenden Prozesse zu kontrollieren bedarf es eines permanenten Monitorings des Vakuums mittels Messung des Total- und Partialdruckes. Eingesetzt wird dabei das 2020 mit dem Thüringer Innovationspreis ausgezeichnete NOVION von VACOM. Dadurch wurde es erstmal möglich transiente Änderungsprozesse aufzunehmen und darauf aufbauend eine schnelle Prozesssteuerung und Regelung zu etablieren. Dabei wurde das Gerät an eine rechteckige Rolle-zu-Rolle-Laborbeschichtungsanlage angeschlossen. In ihr werden die Substrate gemäß Kunden- oder Projektanforderungen vorbehandelt, beschichtet und modifiziert. Dazu stehen verschiedene Beschichtungsprozesse wie das Magnetron Sputtern oder PECVD Prozesse zur Verfügung. Mit diesen Prozessen werden leitfähige, transparente Schichten abgeschieden, Kunststofffolien metallisiert, sensible Substrate mit Wickelschutzschichten versehen und vieles mehr. Zudem ermöglicht die Inline-Monitorierung die Überwachung der Schichteigenschaften. Auch dabei spielt das NOVION eine Rolle.
„Mithilfe des NOVION-Sensors konnten wir erstmals ein tieferes Verständnis über das Verhalten von unseren Substraten im Vakuum entwickeln. Viele Polymerfolien und andere Substrate gasen im Vakuum sowohl Wasser als auch andere Verbindungen aus, welche wiederum einen Einfluss auf unsere Plasmaprozesse haben. Mit dem integrierten Massenspektrometer des NOVION konnten wir dieses zeitvariable Verhalten erstmals direkt im Prozess betrachten. Und das, ohne zusätzliche und teure Komponenten verbauen zu müssen. Durch die Möglichkeit, den Sensor direkt an der Prozesskammer zu betreiben, konnten wir zudem die Gas-Zusammensetzung in unseren Prozessen genauer untersuchen.“ (M.Eng. Stefan Hinze, FEP)
Besuchen Sie die Website unseres Partners FEP.
Das Multifunktionsvakuummeter NOVION ermöglicht zeitgleich die dezidierte Massenspektrometrie, interne und externe Leckdetektion sowie Totaldruckmessung über den gesamten Arbeitsbereich von 5E-3mbar bis 1E-11mbar. Damit kann das Vakuum, Prozessgase sowie gewünschte Reaktionsprodukte in industriellen Beschichtungsprozessen überwacht und geregelt werden. Dies wird durch die 300ms schnelle Messung von 1 bis 300 amu erstmalig ermöglicht. Zusätzlich erlaubt die intuitive Bedienung eine schnelle Anlagenintegration. Durch die automatisierte Kalibrierung wird zudem eine schnelle und regelmäßige Qualitätskontrolle der Sensorstabilität und Performance, auch in industriell anspruchsvollen Prozessen, ermöglicht.
NOVION bietet in der Messtechnik weitere Vorteile:
- Weitbereichsdruckmessung von ATM bis UHV
- Gasanalyse bei hohen Drücken bis zu 5 · 10-3 mbar
- Detektion von atmosphärischen Komponenten (d. h. Partialdrücke von H2, H2O, N2, O2, CO2, etc.)
- Hohe Abtastraten bis zu 300ms für ein komplettes Massenspektrum von 1 bis 300 amu
- Störungsfreie Wasserstoffdetektion (kein Zero Blast Effekt)
- Einfache und intuitive Bedienung über die umfangreiche Software NOVION® Viewer (inklusive)
Gerne beraten wir Sie bei Fragen zum Gerät und seinen Einsatzmöglichkeiten.
