1m hohe AluVaC®-Kammer für LIST
Analysetechnik ist eng mit der Forschung im Nanobereich verbunden. Spektroskopie und hochauflösende Mikroskopie kommen dabei zum Einsatz. Das Luxembourg Institute of Science and Technology (LIST) entwickelt als missionsorientierte Forschungs- und Technologieorganisation Prototypen für öffentliche und privatwirtschaftliche Anwender. In diesem Zusammenhang hat LIST ein einzigartiges Analysetool auf Basis eines Helium-Ionen-Mikroskops entwickelt. Dieses Analysemikroskop hat eine bisher unerreichte laterale Auflösung von 15 nm. Damit werden Objekte sichtbar, die 100.000-mal kleiner sind als der Durchmesser eines menschlichen Haares. Das Spektrometer des nun kommerziell erhältlichen Mikroskops ist in eine spezielle Vakuumkammer (1m hohe Kammerkonstruktion der AluVaC®-Serie) integriert, die LIST und VACOM gemeinsam entwickelt haben.
Die UHV-taugliche Kammer besteht komplett aus Aluminium und besitzt diverse CF- und ISO-Anschlüsse. Durch ein energieeffizienteres Ausheizen bis 120°C werden tiefe Drücke schnell erreicht. Die geringe magnetische Permeabilität und die minimale Ausgasung des Materials der AluVaC®-Serie entsprechen hervorragend den technologischen Anforderungen etwa der Halbleiterindustrie, bei der Produktion von Lithium-Batterien, in der Biologie oder in der Medizin.
