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Schützen Sie Ihre Systeme mit geeigneten Vakuumfallen und Filtern

Verlängern Sie die Lebensdauer Ihrer Pumpen, senken Sie die Wartungskosten und vermeiden Sie Ausfallzeiten mit unseren Vakuumfallen und -filtern. Diese schützen Ihre Pumpen oder das gesamte Vakuumsystem vor Schäden durch Wasser, Lösungsmittel- und Öldämpfe, Partikel, reaktive Stoffe oder Kondensate.

Als exklusiver deutscher Vertriebspartner des Weltmarktführers MASS-VAC Inc. finden Sie bei uns eine besonders breite Produktpalette an Vakuumfallen und -filter.

Unser Angebot auf einen Blick

LN2-Kühlfallen
Adsorptionsfallen
Filterelemente

LN2-Kühlfallen

LN2-Kühlfallen mit flüssigem Stickstoff werden aus Edelstahl hergestellt. Sie werden in Hoch- und Ultrahochvakuumsystemen eingesetzt, um eine gezielte Kondensation an den gekühlten Oberflächen zu erreichen. Dadurch wird ein Rückströmen von Betriebsmitteldämpfen durch Kondensation verhindert. Dies verlängert nicht nur die Lebensdauer der eingesetzten Pumpen, sondern erzeugt auch ein sauberes Vakuum. An den Kühlflächen kondensieren Wasser-, Lösungsmittel- und Öldämpfe, Treibmittel und Gase, deren Siedetemperatur über 77 K liegt (z.B. CO2). Aus diesem Grund können sie auch bedingt als Kryopumpe eingesetzt werden.
Die Fallen sind mit KF- oder ISO-Flanschen für die Montage und zum Ablassen des Kondensats ausgestattet. Je nach Anwendungsfall kann zwischen Fallen mit zwei oder drei Abgängen, in jeweils zwei Ausführungen gewählt werden.

Adsorptionsfallen

Wie kann mit einer ölgedichteten Vorpumpe ein ölfreies Vakuum erzeugt werden? Dazu verwenden Sie unsere Adsorptionsfallen. Diese verhindern, dass Öl von der Vorpumpe in den Vakuumbehälter oder in die Hochvakuumpumpe zurückfließt.

Bei uns finden Sie sowohl KF-Adsorptionsfallen als auch Vakuumfallen der Firma MASS-VAC Inc. Die Fallen der Firma MASS-VAC Inc. werden in einstufige und mehrstufige Varianten unterteilt. Für beide Varianten können die gleichen Filtereinsätze verwendet werden, es ist lediglich auf die jeweilige Filtergröße (4,5“ oder 9,5“) zu achten.

KF-Adsorptionsfallen

KF-Adsorptionsfallen aus Edelstahl werden eingesetzt, wenn mit ölgedichteten Vorvakuumpumpen ein ölfreies Vakuum erzeugt werden soll. Sie werden in der Regel zwischen der mechanischen Vorpumpe und dem Rezipienten eingesetzt. Dabei verhindern sie die Rückströmung von Pumpenöl und Wasserdampf in die Kammer, wodurch ein höherer Enddruck erreicht werden kann. Unsere Adsorptionsfallen sind mit granularem Zeolithen gefüllt. Dieser bindet die Partikel an seiner großen Oberfläche. Der Vorteil des Zeoliths liegt darin, dass es durch die eingebaute Heizung bei 300 °C mehrfach regeneriert werden kann. Wir empfehlen jedoch nach mehrmaliger Regeneration einen Austausch, um ein gleichbleibendes Filtrationsergebnis zu gewährleisten und die Wartungsintervalle der Pumpe zu verlängern.

VISI-TRAP®: Einstufige Adsorptionsfalle mit Kunststoffgehäuse

Die Vakuumfalle VISI-TRAP^® besteht aus einem transparenten Kunststoffgehäuse mit Fremdpartikelfilter, um Pumpen gegen Korrosion bzw. das Vakuum gegen die Ölrückdiffusion aus der Pumpe zu schützen. Sie ist in zwei Größen für die Aufnahme eines 4,5“ oder eines 9,5“ Filterelements erhältlich.

Es stehen eine große Auswahl an Filterelementen in den beiden genannten Größen sowie diverse Anschlussadapter für eine individuelle Anwendung zur Verfügung. Filtereinsätze gegen Wasser, Öl, korrosive Chemikalien oder Feinstpartikel sind erhältlich und sind bei den VISI-TRAP^® Vakuumfallen stets inklusive. Der Vorteil ist, dass Sie Dank der transparenten Auffangwanne sehen, wann der Einsatz gewechselt werden muss. Ein weiterer Vorteil ist die einfache Wartung der Filtereinsätze. Die Einsätze können ohne Öffnen des Vakuumsystems gewechselt werden.

POSI-TRAP®: Einstufige Adsorptionsfalle mit Edelstahlgehäuse

Die Vakuumfalle POSI-TRAP® besteht aus einem Edelstahlgehäuse, das in zwei Größen erhältlich ist. Beide Ausführungen sind mit einem 180° Durchgangsflansch oder als 90° Version erhältlich. Die Variante mit 4“ Außendurchmesser kann ein 4,5“-Filterelement aufnehmen und die Ausführung mit 8“ ganze 4 Filterelemente. Die Filtereinsätze sind hierbei an Ein- und Auslass abgedichtet, um das Gas vollständig zu filtern. Der austretende Gasstrom wird durch die Einlassöffnung zu den Filterelementen geleitet. Im Gegensatz zu anderen Vakuumfallen sind die Filterelemente des POSI-TRAP® sowohl auf der Einlass- als auch auf der Auslassseite abgedichtet. Dadurch wird ein Blow-by verhindert und eine positive Strömung durch die Elemente aufrechterhalten.

Material	Filtercode	Anwendung
Kupfergeflecht	KG	Filtert Kondensat, Partikel und Öldampf.
Edelstahlgeflecht	SS	Filtert Kondensat, Partikel und Öldampf. Mit Korrosionsschutz.
Molekularsieb	MS	Reduziert Ölrückströmung und Wasserdampf.
Soda Lime	SO	Filtert Korrosionspartikel, Chemikalien und neutralisiert Säuredämpfe.
Aktivkohle	AK	Filtert organische Dämpfe.
Aluminiumoxid	AA	Filtert Säuren, polare Verbindungen, Wasser und Partikel.
PolyPro 2 µm	P2	Filtert Partikel ab Ø 2 µm.
PolyPro 5 µm	P5	Filtert Partikel ab Ø 5 µm.
PolyPro 20 µm	P20	Filtert Partikel ab Ø 20 µm.

Die Filterelemente zu den POSI-TRAP® Vakuumfallen sind stets inklusive.

MULTI-TRAP®: Mehrstufige Adsorptionsfalle mit Edelstahlgehäuse

Die mehrstufige Hochleistungsvakuumfalle MULTI-TRAP^® kann für eine Vielzahl von Einsatzzwecken konfiguriert werden. Sie schützt ölgedichtete und trockenlaufende Pumpen, die in reaktiven Prozessen (z.B. TEOS, NITRIDE, HTO, PLASMA) eingesetzt werden. Sie filtert korrosive und durch Arbeitsprozesse entstehende Partikel, die die Vakuumpumpe verschmutzen könnten und verkürzt damit Ausfallzeiten bzw. verlängert die Wartungsintervalle. Die dreistufige Anordnung bietet dabei stets eine nahezu vollständige Filterung des Durchflusses.
Die erste Stufe filtert große, schwere Partikel und Schwebstoffe sowie Flüssigkeiten, indem sich diese an der großen Gehäuseoberfläche absetzen. Die Stufen zwei und drei werden mit Filterelementen ausgerüstet, die reaktive Chemikalien und Feinpartikel filtern. Durch die große Auswahl an Filtermaterialien ergibt sich ein weites Anwendungsspektrum.

Optionale Kühlstufe:

Um eine erhöhte Kondensation zu erzielen, kann die MULTI-TRAP^® zusätzlich mit einer Kühlspule ausgestattet werden. Sie wird in der ersten Stufe der Falle montiert und kann mit verschiedenen Kühlsystemen betrieben werden (z.B. Wasser, POLYCOLD). Der Gasstrom wird dann durch die Kühlstufe zwangsgeführt, bevor er die zweite Stufe mit den Filtereinsätzen erreicht. Dadurch wird eine höhere Abscheiderate für Flüssigkeiten und kondensierbare Gase erreicht. Zudem wird die Temperatur des weiterströmenden Gases reduziert.

Ausführungen:

Die MULTI-TRAP® ist in den Größen 10“, 12“ und 16“ erhältlich.

Die 10“ Modelle MV-355040 und MV-355050 besitzen zwei Stufen mit je fünf parallelen 4,5“-Filterelementen.
Die 10“ Modelle MV-355040S und MV-355050S besitzen nur eine Stufe mit fünf parallelen 9,5“-Filterelementen.
Die 12“ Modelle MV-355080 und MV-355100 besitzen zwei Stufen mit je sechs parallelen 4,5“-Filterelementen.
Die 12“ Modelle MV-355080S und MV-355100S besitzen nur eine Stufe mit sechs parallelen 9,5“-Filterelementen.
Das 16“ Modell MV-355160 besitzt zwei Stufen mit je acht parallelen 4,5“-Filterelementen.
Das 16“ Modell MV-355160S besitzt nur eine Stufe mit acht parallelen 9,5“-Filterelementen.

Die Filterelemente zu den MULTI-TRAP® Vakuumfallen sind nicht inklusive und können entsprechend der Anforderungen mitbestellt werden.

Filterelemente: für alle Vakuumfallen von MASS-VAC

Alle Filterelemente sind mit Edelstahlkappen und Buna-N-Dichtungen für eine hohe Lebensdauer und Beständigkeit versehen. Die große Auswahl an Filterelementen und Kombinationsmöglichkeiten bedient ein weites Spektrum von Anwendungen. Auf Wunsch können auch kundenspezifische Filtereinsätze geliefert werden. Die Filterelemente sind in allen Vakuumfallen austauschbar und in zwei Größen sowie folgenden Materialien erhältlich:

4.5" Version	9.5" Version	Material	Anwendung
MV-300905	MV-300900	Kupfergeflecht	Absorbiert Kondensat, Partikel und Öldampf.
MV-300915	MV-300910	Edelstahlgeflecht	Absorbiert Kondensat, Partikel und Öldampf. Mit Korrosionsschutz.
MV-300925	MV-300920	Molekularsieb	Reduziert Ölrückströmung und Wasserdampf.
MV-300935	MV-300930	Soda Lime	Filtert Korrosionspartikel, Chemikalien und neutralisiert Säuredämpfe
MV-300945	MV-300940	Aktivkohle	Filtert organische Dämpfe.
MV-400915	MV-400910	Aluminiumoxid	Filtert Säuren, polare Verbindungen, Wasser und Partikel.
MV-400925	MV-400920	PolyPro 2 µm	Filtert Partikel ab Ø 2 µm.
MV-400935	MV-400930	PolyPro 5 µm	Filtert Partikel ab Ø 5 µm.
MV-400945	MV-400940	PolyPro 20 µm	Filtert Partikel ab Ø 20 µm.

Ölnebelfilter

Die Ölnebelfilter von MASS-VAC Inc. werden am Auspuff von ölgedichteten Vorpumpen montiert, um die Belastung der Umgebung durch Filterung des austretenden Ölnebeldampfes zu minimieren. Sie sind entsprechend der Pumpengröße in drei Ausführungen erhältlich. Alle Varianten nutzen dabei das gleiche Filterelement MV-360915. Dieses besteht aus einem Mikroglasfaser-Kunstharz-Verbundwerkstoff und hält Partikel ab einer Größe von 0,1 µm mit einer Abscheiderate von 99,999% zurück. Je nach Größe des Ölnebelfilters werden ggf. mehrere Filterelemente benötigt.

VISI-MIST®: Ölnebelfilter mit transparentem Gehäuse

Der Ölnebelfilter VISI-MIST® besitzt ein transparentes Kunststoffgehäuse, durch welches der Füllstand des abgeschiedenen Öls kontrolliert werden kann, ohne den Filter aus dem Vakuumsystem zu entfernen. Krümmer und andere Adapter sind auf Anfrage erhältlich.

MIDI-MIST™: Hochleistungs-Ölnebelfilter mit Edelstahlgehäuse

Der Hochleistungs-Ölnebelfilter MIDI-MIST™ ist als 4“-Version (MV-360300) und 8“-Version (MV-360200) verfügbar. Er wird im Allgemeinem für Pumpen mit einer Saugleistung größer 40 m³/h (4“) und bis zu 70 m³/h (8“) eingesetzt. Die 4"-Version bietet Platz für ein Filterelement und kann für Pumpen mit einem Anschlussstutzen DN25KF oder DN40KF eingesetzt werden. Die 8"-Version bietet Platz für drei Filterelemente und kann für Pumpen mit einem Anschlussstutzen DN40KF eingesetzt werden. Generell sollte der Durchmesser des Anschlussstutzens mindestens halb so groß wie der Pumpeneingangsstutzen sein.

Mögliche Anwendungsfelder sind zum Beispiel Anlagen mit begrenztem Platzangebot, bei denen der Ölnebelfilter direkt auf den Pumpenauspuff montiert werden muss. Außerdem kann er für Anwendungen mit Aceton oder korrosivem Charakter eingesetzt werden. An der unteren Kante besitzt MIDI-MIST™ eine Ölablassvorrichtung für die Ölrückführung. Es ist darüber hinaus dank eines Schnellverschlusses wartungsfreundlich zu zerlegen und zu reinigen.

MAXI-MIST™: Höchstleistungs-Ölnebelfilter mit Edelstahlgehäuse

Der Höchstleistungs-Ölnebelfilter MAXI-MIST™ kann durch seine fünf parallelen Filterelemente für Pumpen mit einer Saugleistung bis zu 300 m³/h und einem Anschlussstutzen DN50KF eingesetzt werden. Außerdem ist er mit einer Ölablassvorrichtung für die Ölrückführung ausgestattet und dank eines Schnellverschlusses wartungsfreundlich zu zerlegen und zu reinigen.