Prüfung und Zertifizierung
Wir bieten Ihnen den lückenlos dokumentierten Nachweis, dass Ihre Produkte die relevanten Qualitätsanforderungen erfüllen und die geforderten Spezifikationen erreicht wurden.
Mit unserem Know-how unterstützen wir Sie auch bei der Ermittlung der geeigneten Prüfparameter für Ihre Bauteile und Materialien. Unsere Zertifizierungen geben Ihnen die Sicherheit, dass Ihr Produkt nach dem Reinigungsprozess für seinen Einsatz geeignet ist.
Unsere Prüf- und Zertifizierungsleistungen umfassen
routinemäßig:
- Restgasanalyse (RGA) zur Qualifizierung der Organiksauberkeit der Bauteiloberflächen
- Partikelmessungen zur Ermittlung der Oberflächenreinheitsklasse (ORK) und Bewertung der partikulären Sauberkeit
auf Wunsch:
- Partikelmessungen an Bauteilen mittels Oberflächensonde und optischem Partikelzähler
- Partikelmessungen an Bauteilen mittels Flüssigkeitsextraktion und Flüssigkeitspartikelzähler
- PMC-Tests (Particle Measurement Card) zur Bestimmung der Bauteilsauberkeit bzgl. Partikeln
- TOC-Messung (Total Organic Carbon) zur qualitativen Bestimmung der Gesamtmenge an filmisch/organischen Verunreinigungen
- XPS-Analysen zur qualitativen und quantitativen Bestimmung von Fremdelementen sowie der elementaren Oberflächenzusammensetzung
- TENAX-Beprobung und anschließende TD-GC-MS-Messung (Termal Desorption Gas Chromatography Mass Spectrometry) zur qualitativen und quantitativen Bestimmung der filmisch/organischen Verunreinigungen, insbesondere an kleinen Bauteilen und von Rohrleitungen
und andere Tests. Fragen Sie uns.
RGA-Messung
Mit unseren Restgasanalyseanlagen verifizieren wir das geforderte Reinigungsergebnis. Das Ausgasverhalten im Vakuum wird quantifiziert und dokumentiert. Mittels quantitativer und qualitativer Restgasanalyse bieten wir qualifizierte Ausgasmessungen Ihrer Bauteile an. Die Messungen werden mit einem Partialdruck von bis zu 2 • 10-14 mbar und Massezahlen bis 300 amu durchgeführt. Die hochempfindlichen Messaufbauten erlauben den Nachweis kleinster Kontaminationen. So können Ihre Produkte höchsten Anforderungen an die Reinheit der Bauteiloberflächen genügen. Die Restgasanalyse bieten wir Ihnen auch als Vor-Ort-Service an.
Partikel Messung
Wir identifizieren die Reinraumtauglichkeit und die Eignung Ihrer Werkstoffe und Bauteile zur Herstellung von Partikelarmut. Wir klassifizieren Ihre Bauteile nach der Reinigung in eine Partikelfreiheitsklasse. Unsere Messverfahren:
- Oberflächenmessung an glatten oder leicht gewölbten Oberflächen
- Durchströmungsmessung an rohrförmigen Bauteilen
- Abblasemessung an komplizierten Strukturen.
Die Messungen sind an ISO 14644 und die VDI Richtlinie 2083 angelehnt. Sie erfolge an ausgewählten Stichprobenorten gemäß Ihren Vorgaben bzw. nach VACOM-Standard auf der Oberfläche oder integral bei durchströmten Komponenten. Als Medien für die Partikelmessung nutzen wir Reinstluft bzw. Reinststickstoff. Die Messergebnisse werden in einem standardisierten Protokoll für den Partikelbereich 0,3 μm bis 10 μm in sechs Größenklassen erfasst und dokumentiert. Ihre Bauteile verlassen unser Haus nur in den Grenzen der gewünschten ORK. Gerne helfen wir Ihnen bei der Interpretation der Resultate und beraten Sie zu Maßnahmen hinsichtlich der Partikelbelastung.