Druckbereiche
Je niedriger der Druck, desto höher die Herausforderung. Vakuumtechnik ist ein wesentlicher Bestandteil zahlreicher Bereiche der Industrie und Forschung, wie zum Beispiel der Teilchenphysik, Beschichtung, Halbleiterindustrie und vielen mehr. Die unterschiedlichen Verfahren benötigen dabei Drücke und Teilzahldichten, die niedriger als beim Atmosphärendruck sind. Der realisierte Restdruck kann dabei vom Grobvakuum bis zum Extremhochvakuum reichen und umfasst einen Bereich von mehr als 14 Größenordnungen. Unabhängig davon, in welchem Druckbereich Sie arbeiten, ist es entscheidend, die optimalen Bearbeitungsbedingungen mit den korrekten Bauteilen zu schaffen. VACOM ist Ihr Ansprechpartner für jeden Druckbereich bis ins Extremhochvakuum. Profitieren Sie von unserem umfangreichen Produktangebot aus einer Hand - von Standardbauteilen aus Edelstahl und Aluminium, elektrischen und optischen Durchführungen, entlüfteten Schrauben, Ionengetterpumpen, mechanische Transferkomponenten bis hin zu unserem revolutionären Multifunktions-Vakuummeter. Unsere Forschungs- und Entwicklungsabteilung arbeitet an Innovationen in der Vakuumtechnik, um Sie in Ihrem Anwendungsbereich voranzubringen.
Sie sind unschlüssig, welches das richtige Produkt für Sie ist? Vertrauen Sie auf das Wissen und die Erfahrungen unserer Experten. Diese beraten Sie zu für Ihren Druckbereich geeigneten Produkten und über den richtigen Umgang im Umfeld von extrem tiefen Drücken. Hierbei hat beispielsweise die Bauteilsauberkeit eine entscheidende Rolle, die wir Ihnen mit unseren VACOM® Purity Classes und VACOM® Vacuum Classes nachweisbar garantieren.
Grobvakuum | Feinvakuum | Hochvakuum | Ultrahochvakuum | Extremhochvakuum | |
Absolutdruck in mbar | 300 ... 1 | 1 ... 10-3 | 10-3 ... 10-7 | 10-7 ... 10-11 | < 10-11 |