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Halbleiterindustrie
Die Halbleiterindustrie produziert mikroelektronische Bauelemente und Baugruppen auf Basis von Halbleitermaterialien. Seit dem digitalen Zeitalter steigt der Bedarf an Mikrochips für viele Industrien mit Ihren individuellen Produktfeldern immens an. Um diesem Trend gerecht zu werden, setzen große Chiphersteller in Prozessfenstern, teilweise an der Grenze des technisch machbaren, noch leistungsfähigere und miniaturisiertere Chiparchitekturen um. Neben der Hochtechnisierung der Produktion ist die konstante Aufrechterhaltung von Qualität und Sauberkeit unter Reinraumbedingungen innerhalb der Prozess- und Lieferkette eine weitere große Herausforderung. Etablierte Fertigungsverfahren wie EUV und DUV, aber auch zukunftweisende Technologien wie High-NA, adressieren unterschiedliche Anforderungen an das Prozessvakuum und die Sauberkeit der verwendeten Vakuumbauteilen und -komponenten.
VACOM ist mit diversen vakuumtechnischen Produkten, präzise spezifisch gereinigt nach den VACOM® Purity Classes ein Hauptlieferant für Unternehmen, die mit EUV-Verfahren arbeiten. Hochpräzise gefertigte Vakuumkomponenten und -bauteile erfüllen die Anforderungen der Branche hinsichtlich filmischer und partikulärer Oberflächensauberkeit sowie geringer Ausgasraten.
Wir bieten Ihnen:
- Sonderbauteile sowie KF- und ISO-Komponenten
- elektrische, optische und mechanische Durchführungen
- Vakuummesstechnik für alle Druckbereiche
- Vakuumventile sowie vakuumtaugliche Schrauben
- Reinigungsdienstleitungen gemäß Ihren Spezifikationen
Highlight Produkte für die Halbleiterindustrie
Sub-D basic | 346305
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"3 in 1" Weitbereichsvakuumsensor | 379025
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Drehdurchführung - extended | 367167
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