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Reinigungsprozess
Immer anspruchsvollere High-End-Prozesse werden zunehmend intoleranter gegenüber Restverunreinigungen auf den prozessberührenden Bauteiloberflächen. Daher muss die Bauteilsauberkeit über den unspezifischen Industriestandard „öl- und fettfrei“ zu konkreten High-Purity-Anforderungen optimiert werden. Mit unserer perfekt eingestellten Prozesskette VACOM cleanFAB® erhalten Ihre Bauteile präzise und nachweisbar die benötigte Sauberkeit. Ein weltweit einzigartiger Technologie-Mix ermöglicht über unsere Stufen der Vorreinigung, Feinreinigung, Feinstreinigung und Ultra-Feinstreinigung kundenindividuelle Lösungen nach Maß.
Wir garantieren unsere Reinigungsergebnisse nach eigenen Werkstandards, den VACOM® Purity Classes.
Feinreinigung
In dieser Stufe erfolgt im Reinraum der ISO-Klasse 8 eine Nassreinigung mit einer einzigartigen Hochleistungs-Reinigungsanlage. Die Bauteile durchlaufen chargenrein vollautomatisch verschiedene aufeinander abgestimmte Ultraschallbäder. Dabei sind die Parameter und Reinigungsflüssigkeiten exakt auf die prozessierten Bauteilgeometrien und -werkstoffe angepasst.
Feinstreinigung
Nach der Nassreinigung folgt in Reinräumen der ISO-Klasse 6 die nächste Stufe der Prozesskette, die Trockenreinigung. Durch Ausheizen der Bauteile in speziellen Vakuumöfen (vacuum bake-out) werden die Materialoberflächen bei hohen Temperaturen (z. B. 180 °C) von Rückständen filmischer Verunreinigungen befreit. Die anhaftenden Moleküle gehen dabei durch die Vakuumumgebung in die Gasphase über und werden abgepumpt. Das Reinigungsergebnis wird mittels VIDAM®-fine-Systemen festgestellt.
Ultrafeinstreinigung
In der höchsten Stufe der Prozesskette findet ein hochpräziser Reinigungsprozess statt, exakt angepasst auf die angestrebte Bauteilsauberkeit. Ähnlich wie in der Feinstreinigung werden die Bauteile durch Temperatur und Evakuierung in extra dafür entwickelten Vakuumanlagen prozessiert. Während des Ausheizens werden simultan die molekularen Bestandteile der Ausgasung mittels auf Massenspektrometrie basierender Restgasanalyse (RGA) ermittelt, sodass die Sauberkeit der Bauteile in-situ erzeugt, geprüft und bestätigt werden kann. Am Ende dokumentiert ein ausführliches Prüfprotokoll die Ergebnisse und die Relation zu den Purity Classes. Unsere wissenschaftlichen MitarbeiterInnen unterstützen Sie gerne bei der Interpretation der Auswertung.
